1.臭氧能氧化分解細菌內部葡萄糖所需的酶，使細菌滅活死亡。 　　
2.直接與細菌、病毒作用，破壞它們的細胞器和DNA、RNA，使細菌的新陳代謝受到破壞，導致細菌死亡。 　　
3.透過細(xi)胞膜組織，侵入細(xi)胞內(nei)，作用(yong)于外膜的脂蛋白和內(nei)部的脂多糖(tang)，使細(xi)菌發生通透性畸變(bian)而溶解死(si)亡。

臭氧(yang)(yang)滅(mie)菌(jun)(jun)(jun)為(wei)溶菌(jun)(jun)(jun)級方法，殺(sha)菌(jun)(jun)(jun)徹底，無殘留(liu)(liu)，殺(sha)菌(jun)(jun)(jun)廣譜，可殺(sha)滅(mie)細菌(jun)(jun)(jun)繁(fan)殖體和芽孢(bao)、病毒(du)、真菌(jun)(jun)(jun)等(deng)(deng)，并可破壞(huai)肉毒(du)桿(gan)菌(jun)(jun)(jun)毒(du)素。另外，O3對霉(mei)菌(jun)(jun)(jun)也(ye)有極(ji)強(qiang)(qiang)的殺(sha)滅(mie)作用(yong)。O3由(you)于穩定性差，很快會自行分解(jie)為(wei)氧(yang)(yang)氣或(huo)單(dan)個氧(yang)(yang)原(yuan)子，而單(dan)個氧(yang)(yang)原(yuan)子能(neng)(neng)自行結(jie)合成(cheng)氧(yang)(yang)分子，不存在(zai)任何有毒(du)殘留(liu)(liu)物，所以，O3是一種無污染的消毒(du)劑。O3為(wei)氣體，能(neng)(neng)迅速彌漫(man)到(dao)整(zheng)個滅(mie)菌(jun)(jun)(jun)空(kong)間，滅(mie)菌(jun)(jun)(jun)無死角。而傳統的滅(mie)菌(jun)(jun)(jun)消毒(du)方法，無論是紫(zi)外線，還是化(hua)學熏蒸(zheng)(zheng)法，都有不徹底、有死角、工作量大、有殘留(liu)(liu)污染或(huo)有異味等(deng)(deng)缺(que)點，并有可能(neng)(neng)損害人體健康(kang)。如用(yong)紫(zi)外線消毒(du)，在(zai)光線照射不到(dao)的地方沒有效果(guo)，有衰退、穿透力弱、使用(yong)壽(shou)命(ming)不長等(deng)(deng)缺(que)點。化(hua)學熏蒸(zheng)(zheng)法也(ye)存在(zai)不足(zu)之處，如對抗藥性很強(qiang)(qiang)的細菌(jun)(jun)(jun)和病毒(du)，則殺(sha)菌(jun)(jun)(jun)效果(guo)不明顯。